杏彩体育官网金融界2024年8月20日动静,天眼查学问产权讯息显示,河北同光半导体股份有限公司得到一项名为“超高真空碳化硅原料合成炉体例“,授权告示号CN112516916B杏彩体育登录注册,申请日期为2020年12月。
专利摘要显示,本发现公然一种超高真空碳化硅原料合成炉体例,涉及碳化硅合成技能规模,由其造备的高纯碳化硅粉体原料可能平凡用于半导体碳化硅单晶体的成长及高纯碳化硅陶瓷样品的造备。本发现所述的超高真空碳化硅原料合成炉体例中杏彩体育登录注册,炉室为圆筒形立式双层水冷组织,炉室上装置炉盖,炉盖为双层水冷组织,红表测温组件位于炉盖顶端,炉盖可由电动起落机完成起落并旋开;炉室通过闸板阀、泵抽弯管与分子泵贯串,构成体例主抽管道,炉室通过角阀、波纹管与死板泵相连,构成体例旁抽管道;样品维持机构与炉室底盘固定,觉得加热组件、丈量组件分歧与炉室侧面法兰固定。